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深圳大學高真空電子束蒸發(fā)薄膜制備設備意向公開

發(fā)布時間：2024-01-26 地區(qū)：廣東

深圳大學高真空電子束蒸發(fā)薄膜制備設備意向公開

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采購單位:	深圳大學
項目名稱:	高真空電子束蒸發(fā)薄膜制備設備
預算金額（元）:	1,**,.**
采購品目:	真空應用設備
采購需求概況:	用于4英寸樣品的高真空電子束蒸發(fā)薄膜制備，主要組件與參數(shù)如下：6 kW電子束源，含6坩堝靶位，帶電子束束斑掃描控制器；主工藝腔高度≥ ** mm，帶全量程真空計，真空系統(tǒng)采用前級干泵渦輪分子泵配置，極限真空≤ 7.5×-8 Torr；石英晶振膜厚計和控制器，鍍率厚度分辨率≤ 0. ？/s；4英寸旋轉樣品臺，帶循環(huán)水冷；配備Load-lock進樣倉，滿足4英寸樣品進樣，帶全量程真空計，真空系統(tǒng)采用前級干泵渦輪分子泵配置，極限真空≤7.5×**-6 Torr；PLC控制系統(tǒng)，用于真空系統(tǒng)和電子束蒸發(fā)系統(tǒng)的參數(shù)監(jiān)測和控制。
聯(lián)系人:	尚老師
聯(lián)系電話:	****
預計采購時間:	**-**
備注:	無

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準原網(wǎng)址：****

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