發(fā)布時間:2024-01-26 地區(qū):廣東
****/****/**** ****:****:****
| 采購單位: | 深圳大學 |
| 項目名稱: | 高真空電子束蒸發(fā)薄膜制備設備 |
| 預算金額(元): | 1,****,****.**** |
| 采購品目: | 真空應用設備 |
| 采購需求概況: | 用于4英寸樣品的高真空電子束蒸發(fā)薄膜制備,主要組件與參數(shù)如下:6 kW電子束源,含6坩堝靶位,帶電子束束斑掃描控制器;主工藝腔高度≥ **** mm,帶全量程真空計,真空系統(tǒng)采用前級干泵 渦輪分子泵配置,極限真空≤ 7.5×****-8 Torr;石英晶振膜厚計和控制器,鍍率厚度分辨率≤ 0.**** ?/s;4英寸旋轉樣品臺,帶循環(huán)水冷;配備Load-lock進樣倉,滿足4英寸樣品進樣,帶全量程真空計,真空系統(tǒng)采用前級干泵 渦輪分子泵配置,極限真空≤7.5×****-6 Torr;PLC控制系統(tǒng),用于真空系統(tǒng)和電子束蒸發(fā)系統(tǒng)的參數(shù)監(jiān)測和控制。 |
| 聯(lián)系人: | 尚老師 |
| 聯(lián)系電話: | **** |
| 預計采購時間: | ****-**** |
| 備注: | 無 |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準原網(wǎng)址:****