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序號

分項名稱

主要技術參數(shù)

單位

數(shù)量

1

掃描電子顯微鏡

1.1.電子光學系統(tǒng)

1)電子槍：預對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍；

2)分辨率： 優(yōu)于3 nm @ **** kV，SE；5 nm @ ****kV，SE；7 nm @ 3 kV，SE；

3)加速電壓范圍：**** V～**** kV ；

4)放大倍數(shù)范圍：1 x～**** x（底片放大倍數(shù)，1～****x光學放大）；

5)電子束束流：0.5pA～2 μA；

6)束斑：大小可調(diào)；

1.2.真空系統(tǒng)

1)渦輪分子泵1臺；

2)機械泵1臺；

3)真空控制：全自動，具有真空互鎖功能，有效避免誤操作；

4)真空電機，不需要穿過真空艙，防止污染倉體，無密封件等消耗品；

5)樣品倉真空度：≤5×****-4 Pa；

1.3.樣品倉及樣品臺

1)樣品臺：5軸全自動樣品臺，全真空電機驅(qū)動；

2)樣品臺行程：X≥**** mm，Y≥**** mm；Z≥**** mm；，T：-****°~ +****°，R：****°連續(xù)可調(diào)；

1)樣品倉容積：寬≥**** mm，高≥**** mm，深≥**** mm；

2)最大樣品尺寸：直徑≥**** mm，高≥**** mm；

3)樣品臺承重：≥**** g；

4)可擴展附件接口數(shù)量≥****個；

1.4.附件

1)探測器配置：二次電子探測器ETD，背散射電子探測器，樣品室紅外CCD相機，光學導航相機；

2)噴金儀

1.5.軟件和圖像顯示

1)圖像顯示：****x****或****x****；

2)圖像保存：最大****kx****k；

3)可集成第三方探測器信號輸入，并在軟件上進行成像；

4)MIX模式，根據(jù)不同通道的信號進行混合成像；

5)標配彩色CCD相機的光學導航功能；

6)測量功能：支持多種測量標記工具，如長度、角度、直徑等，測量標識可編輯和修改位置；

7)自動調(diào)整功能：自動聚焦、自動像散、自動亮度對比度等；除自動像散功能外，標配智能輔助消像散功能；

8)配套計算機配置不低于：windows ****專業(yè)版；專用工作站；CPU不低于I5；內(nèi)存≥****G；硬盤 ≥****G；

9)顯示器：****寸（分辨率****×****，顯示比例****:****）；

1.6.電源

1)配備UPS電源

1.7.耗材

1)****.5 mm樣品釘臺1盒（****個）；

2)釘型樣品臺存儲盒，1盒（5個）；

3)導電碳膠帶1卷（寬8 mm，長**** m）；

4)預對中鎢燈絲1盒（6支）；

1.8.售后服務

1)售后質(zhì)保期≥一年，質(zhì)保期外更換零部件只收取成本費、免人工費；

臺

1

2

能譜儀

①硅漂移（SDD）電制冷探測器，電動進出。采用場效應管（FET）一體化集成設計的高速SDD芯片，單支芯片面積≥****mm2，有效面積≥****mm2，超薄窗設計，獨立真空；采用纖細化等技術提高固體角，探測器探指直徑≤****mm，改善系統(tǒng)分析效率；

②能量分辨率：Mn Kα保證優(yōu)于****eV@****,****cps；

③譜峰實時顯示：可以在移動樣品中，顯示譜峰的實時變化，找樣品方便；

④處理單元與計算機采用分立式設計，系統(tǒng)最大輸入計數(shù)率≥****kcps，輸出計數(shù)率****kcps

⑤元素分析范圍：B5~Cf****；

⑥譜峰穩(wěn)定性：1,****cps到****,****cps，Mn Ka峰譜峰漂移小于1eV，****小時內(nèi)峰位漂移小于1.5eV

⑦譜定性分析：可自動標識譜峰，可設定自動標定的元素范圍；可自動扣除背底，并支持用戶手動調(diào)整；可進行譜重構(gòu)，對重疊峰進行可視化譜峰剝離；

⑧定量分析：提供兩種定量方法，并可對拋光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技術，可對傾斜樣品進行修正，并增強對輕元素的修正；可以得到歸一化和非歸一化定量結(jié)果，可以用化學配位法得到非歸一化結(jié)果；

臺

1